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澳门新葡8455最新网站维修对高纯气体管道安装对材料有什么

2018-03-17 09:32 企业资讯

 高纯度气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需经过管路运送到仪器用点(POU),为了达到仪器对气体的质量要求,在气体出口指标必定的情况下,则更需注重配管体系的资料选用和施工质量。下面就来为咱们进行先容。 



  对运送高纯气体管道而言,其影响气体质量的管道资料首要特性是气体浸透性、出气速率、吸附性、外表粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。

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  气体浸透性
  不同资料对氧的浸透性资料大气中氧气的浸透(ppm)不锈钢管 O铜管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12一般钢管 203从表看到,关于运送ppm级及更高纯度要求的气体,从气体浸透角度有必要选用不锈钢管或许钢管,如果咱们不恰当地选用了不符合要求的管道资料,那么,不管咱们采纳什么净化手法,都将是杯水车薪的。


  出气速率
  资料锻炼进程构成的管道资料晶间或许晶格内部存在着某些杂质,如氮、碳氢化合物等,在高纯气体运送进程中,这些杂质会缓慢地释放出来,污染高纯气体,尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。一般低碳不锈钢管的出气速率极低。


  吸附性
  因为水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些外表粗糙的资料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,运用这些资料运送高纯气体易被污染,除了运送ppm级以下的氧气会运用紫铜管外,高纯气体都不选用铜管和塑料管,气体会接触到的垫片、填料也不得选用橡胶、塑料资料(包含聚四氟乙烯)。


  外表粗糙度和耐磨性
  为了保证运送的气体纯净度,要求管道资料内外表有一个极高的光洁度,这样能够避免污染粒子及湿气在管壁停留,能够在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨,能够在气流高速冲刷下,发作的金属粒子就少,不锈钢比铜管发作粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。
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  抗腐蚀性
  微电子生产中,常常运用一些腐蚀性很强的气体,这时有必要选用耐腐蚀的管材,不然管道会被腐蚀,轻则外表发作锈斑,重则管道大面积脱落、穿孔,不光污染气体,还会发作安全事故。


  以上就是为咱们先容的有关高纯气体管道装置对配管和原料有什么要求的剖析,希望能够给咱们供给参阅。经过以上的剖析,咱们应该知道了怎么对高纯气体管道的原料要求。


  气体减压阀的特色、装置和保护的留意事项

  气体减压阀经过调理调理绷簧压力设定出口压力,使用膜片传感出口压力改变,经过导阀启闭驱动活塞调理主阀节省部位过流面积的巨细,完成减压稳压功用。
  气体减压阀是选用操控阀体内的启闭件的开度来调理介质的流量,将介质的压力下降,一起凭借阀后压力的效果调理启闭件的开度,使阀后压力坚持在必定范围内,并在阀体内或阀后喷入冷却水,将介质的温度下降,这种阀门称为减压减温阀。
  气体减压阀的特色,是在进口压力不断改变的情况下,坚持出口听压力和温度值在必定的范围内。气体减压阀是气动调理阀的一个必备配件,首要效果是将气源的压力减压并安稳到一个定值,以便于调理阀能够获得安稳的气源动力用于调理操控。


  气体减压阀的装置和保护应留意以下事项:
  1、为了操作和保护便利,气体减压阀一般直立装置在水平管道上。
  2、装置时应留意使管路中介质的流向与阀休上所示箭头的方向一致。
  3、为了避免阀后压力超压,应在离阀出口不少于4M处装置一个气体减压阀。
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